季华恒一
季华恒一(佛山)半导体科技有限公司成立于2021年6月,为季华实验室大功率半导体装备团队的科研成果产业化平台。季华实验室是广东省委、省政府启动的首批4家广东省实验室之一。季华恒一创始团队来自中电48所、美国应用材料、钧石能源等,负责过多项国家重点装备领域专项,具备丰富的半导体设备研发经验。公司主营业务为SiC成套工艺设备研发、生产和销售,主要研发产品包括 SiC 离子注入设备、外延设备、激活设备、氧化设备、退火设备。未来将重点开发SiC外延炉、高温离子注入机等高技术壁垒功率芯片制造装备,12年内实现产业化应用和批量销售。